SNE-3000MS-presentation_gemaddis.png

Présentation de la solution d'inspection SNE 3000MS :

Performance

Resolution : 15nm

Magnification : 60,000x

SE Image : SE Detector

The most appropriate Table-top SEM for the surface inspection with 10,000x of magnification which is main inspection range by SEM. Entry-level Table-top SEM with 15nm resolution & 60,000x magnification.

Spécifications de la SNE 3000MS : 

Résolution 15nm (30kV, SE Image)
Grossissement 20x~60,000x
Tension d'accélération 1~30kV (1/5/10/15/20/30)
Détecteur Secondary Electron Image(SE)
Canon à électrons Pre-centered Tungsten Filament Cartridge
Manipulateur 3-axis System (X, Y, R - Manual)X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360°* Image Shift : ±150μm* Tilt-axis : 0~45° (Option)
Taille d'échantillon 70mm in Diameter x 30mm in Height
Fonctions autos Auto Start, Auto Focus,Auto Stigmator, Auto Contrast & Brightness
Formats d'image BMP, JPEG, PNG, TIFF
Mode de vide High Vacuum
Pompe à vide Rotary Pump / Turbo Molecular Pump (Full Automation)
Unité Principale 390(W)x380(D)x560(H)mm, 83kg
Contrôleur 390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg
Pompe à vide 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg
Image-d'inspection-SNE-3000MS.png
Image-d'inspection-par-sne-4500M.jpg

Convenience

Stage System : X,Y,R (3-axis) / Beam Shift: 150μm

Auto Setting : Focus, Contrast, Brightness

Simple S/W : Convenient Operation

Convenient stage movement by 3-axis and able to operate easily and conveniently with mouse control in U.I. Able to get various analysis results with various scan modes measurement tool.

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