Résolution : 15nm
Magnification : 60,000x
SE Image : SE Detector
Le plus approprié des microscopes de table à balayage (MEB / SEM) disposant d'un facteur de grossissement jusqu'à x10,000 qui est la plage la plus courante en pratique pour les applications d'inspection MEB/SEM. Ce système dispose en outre de caractéristiques permettant d'aller jusqu'à x 60,000 avec une résolution de 15nm.
| Résolution | 15nm (30kV, SE Image) |
|---|---|
| Grossissement | 20x~60,000x |
| Tension d'accélération | 1~30kV (1/5/10/15/20/30) |
| Détecteur | Electrons secondaires (SE) |
| Canon à électrons | Cartouche à filament tungstène pré-centré |
| Manipulateur | 3 axes (X, Y, R - Manuel) Axes X, Y : 40mm / R : 360° Image Shift : ±150μm Tilt : 0~45° (Option) |
| Taille d'échantillon | 70mm de diamètre x 30mm de hauteur |
| Fonctions autos | Auto Start, Auto Focus, Auto Stigmator, Auto Contrast & Brightness |
| Formats d'image | BMP, JPEG, PNG, TIFF |
| Mode de vide | High Vacuum |
| Pompe à vide | Pompe rotative / Pompe turbo-moléculaire (gestion automatique) |
| Unité Principale | 390(W)x380(D)x560(H)mm, 83kg |
| Contrôleur | 390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg |
| Pompe à vide | 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg |
Porte-échantillon : X,Y,R (3 axes) / Beam Shift: 150μm
Auto Setting : Focus, Contraste, Brightness
Logiciel simple : opération conviviale
Orientation facile de l'échantillon grâce au porte-échantillon mobile sur 3 axes piloté par souris. Le système est capable de générer des résultats d'analyse avec différents mode de scan et des outils adaptés.
au cœur de nos préoccupations
© Gemaddis. Tous droits réservés.•Crédits & mentions légales•Politique de confidentialité•CGV
